中芯能做5奈米！台積電大老揭密 三星3奈米超車下場慘 - 財經

三星電子搶先在3奈米製程導入GAA技術，並預計在2022年上半年量產，微幅領先台積電在先進製程的進展，不過，浸潤式微影之父、台積電前研發副總林本堅卻指出，三星每次都喊超前，但3奈米以下先進製程投資巨大，相對是