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光學微影是半導體重要的關鍵技術。中央研究院 - 林本堅院士研發出浸潤式微影取代乾式微影，讓台積電成功引領全球半導體業技術走向，得以推進製程至今。今天很榮幸邀請微影技術的先驅者-中央研究院林本堅院士分享邁向21世代的光學微影走向將會遇到什麼挑戰和突破，新世代的光刻前景將會如何發展，精彩演說將在今天揭曉！

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